B1.屬于潔凈度分級與常規(guī)檢測的空氣懸浮粒子計數(shù)

B1.1 原理

本檢測方法對如何測量閾值粒徑0.1µm-5µm的空氣懸浮粒子濃度作出規(guī)定.測量可在空態(tài)/靜態(tài)和動態(tài)所有3種狀態(tài)下進行.本方法用于設施符合GB/T 25915—2010規(guī)定潔凈度的認證或驗證,或用于GB/T 25915.2—2010規(guī)定的定期復檢.B.1給出的方法源自IEST-G-CC1001:1999。

B1.2 檢測規(guī)程

采樣點數(shù)量，采樣點位置的選擇，潔凈區(qū)級別的判定，所需數(shù)據(jù)的量，所有這些都要符合GB/T25915.1—2010的規(guī)定。B.1給出的是在每個采樣點進行空氣采樣的基準方法。若供需雙方另有協(xié)議，也可采用其他具有同樣準確度并給出等效數(shù)據(jù)的方法。若無一致同意的其他方法或出現(xiàn)爭議，則應使用本附錄給出的基準方法。

B1.2.2 空氣懸浮粒子計數(shù)規(guī)程

將離散粒子計數(shù)器的采樣頭放在預定位置，設定計數(shù)器的流量，選擇符合BG/T 25915.1—2010規(guī)定的粒徑閥值。在單向流區(qū)域，所選擇的采樣探頭應接近等動力采樣，進入采樣探頭的風速與被采空氣的風速偏差不應超過20%。若無法做到這一點，將采樣口正對氣流的主方向。在風速不受控或不可預測（例如非單向流）的采樣點，采樣口應豎直向上。采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應盡量短。采樣粒子大于或等于1µm時，連接管的長度和直徑不應超過制造商的建議值。

采樣過程中，因擴散造成的小粒子損失、因沉降與撞擊造成的大粒子損失所產(chǎn)生的采樣誤差不應大于5%。

B1.3 空氣懸浮粒子計數(shù)器

如C.1的介紹，離散粒子計數(shù)器（DPC）應能夠?qū)諝庵械牧Ｗ舆M行計數(shù)、計徑，其粒徑辨別率應滿足待測設施的潔凈度判定要求。粒子計數(shù)器應能對規(guī)定粒徑范圍的粒子進行計數(shù)，并顯示或記錄，所用粒子計數(shù)器具有有效的校準證書。

B1.4 檢測報告

根據(jù)供需雙方的協(xié)議，對于設施潔凈度分級或常規(guī)檢測，第5章規(guī)定的檢測報告及下述信息和數(shù)據(jù)應記錄在案：

a)       離散粒子計數(shù)器的偽計數(shù)率；

b)       測量類型：潔凈度分組還是監(jiān)測；

c)       設施的潔凈度級別；

d)       粒徑范圍和計數(shù)；

e)       離散粒子計數(shù)器采樣口的采樣流量，通過光敏區(qū)的流量；

f)        采樣點位置；

g)       檢測潔凈度等級的采樣協(xié)議，或監(jiān)測用采樣計劃；

h)       占用狀態(tài)；

i)         與測量有關的其他數(shù)據(jù)。